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2024-11-02集成电路废气处理技术应用方案
集成电路废气主要来源于芯片制造过程中的各个工序，主要采用活性炭吸附法、催化燃烧法、冷凝法、等离子法、直接燃烧法、吸收法、沸石转轮吸附浓缩+热氧化等多种技术。沸石...
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